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產(chǎn)品名稱:程控晶圓加熱板

產(chǎn)品型號(hào):Torrey Pines

更新時(shí)間:2024-11-01

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):應(yīng)用領(lǐng)域:
清潔硅晶圓
干燥硅晶圓
蝕刻硅晶圓
熱測(cè)試電路
熱測(cè)試環(huán)氧樹(shù)脂
焊接表面貼裝PCB
PCB的生命周期測(cè)試
測(cè)試液晶顯示器

Torrey Pines程控晶圓加熱板的詳細(xì)資料:

Torrey Pines 程控晶圓加熱板是一種可編程的數(shù)字電熱板,專為烘烤晶圓硅片而設(shè)計(jì)。 在手動(dòng)操作模式中,只需設(shè)置一個(gè)目標(biāo)溫度,設(shè)備就會(huì)達(dá)到并保持該精確溫度在±1°C之內(nèi)。 在編程模式下,程序可以存儲(chǔ)在內(nèi)存中,以便即時(shí)調(diào)用和使用。 存儲(chǔ)的程序?qū)⒁淮斡忠淮?相同地自動(dòng)運(yùn)行。

根據(jù)需要,程序可以是簡(jiǎn)單的也可以是復(fù)雜的。 可以存儲(chǔ)多個(gè)溫度,溫度上升速率(如果需要)和停留時(shí)間。 這些程序可以編寫并存儲(chǔ)在本機(jī)隨附的分離式控制器中,或者當(dāng)用戶在后部的RS-232 I / O端口連接PC上來(lái)編寫程序并通過(guò)PC運(yùn)行該程序時(shí),程序可以根據(jù)需要盡可能的簡(jiǎn)單或復(fù)雜。

特征

1.直徑為354.24毫米(13.875英寸)的加熱表面

2.研磨的平板鋁非常適合12英寸(304.8毫米)或更小的硅晶片

3.可通過(guò)RS232 I / O端口或通過(guò)控制器從PC或工業(yè)控制器進(jìn)行遠(yuǎn)程控制

4.可使用隨附的分離式控制器對(duì)加熱板進(jìn)行控制和編程

5.溫度范圍從室溫到350°C

6.可讀且可設(shè)置為1°C

7.精度為設(shè)定值的1

8.從加熱板表面中間到側(cè)面0.75 in范圍內(nèi)的溫度均勻度優(yōu)于1

9.溫度穩(wěn)定性±1°C

10.校準(zhǔn)至0.1°C以確保準(zhǔn)確性

11.控制器可存儲(chǔ)5個(gè)單獨(dú)的程序,每個(gè)程序多可存儲(chǔ)10個(gè)步驟,以進(jìn)行各種手動(dòng)操作,可重復(fù)的樣品運(yùn)行

12.程序可自動(dòng)重復(fù)199次,如果需要,可以無(wú)限次重復(fù)

13.變溫可以1°C /小時(shí)的基數(shù)增量從1°C450°C上升或下降

14.1500 W加熱器功率

15.機(jī)箱底部的*溫度指示照明環(huán)。顏色從藍(lán)色(無(wú)目標(biāo)溫度)變?yōu)辄S色(加熱至50°C以下)至紅色(加熱至50°C以上)。指示燈將閃爍,直到溫度穩(wěn)定在±0.2°C之內(nèi)

16.內(nèi)置倒數(shù)計(jì)時(shí)器,帶有聲音警報(bào)和可設(shè)置的自動(dòng)關(guān)閉

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